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ZKDMB系列 中頻濺射電源
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ZKDMB系列 中頻濺射電源

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采用波形控制技術，輸出特性可調(diào)：包括輸出頻率，占空比，輸出波形可調(diào)。可輸出 直流，直流+脈沖，雙向方波，雙向梯形波等波形。極快弧光響應，極低能量存儲。產(chǎn)品穩(wěn)定性能優(yōu)，可靠性高。精 準便利控制鍍膜。用于太陽能電池片管PECVD成膜等多種膜涂層制造。磁控濺射工藝。孿生靶濺射工藝等真空鍍膜。

產(chǎn)品特點


   ● 模塊化設計，符合行業(yè)標準

   ● 前端PFC+碳化硅全橋電路，DSP和FPGA數(shù)字控制調(diào)節(jié)，輸出穩(wěn)定性 0.3%；
   ● 控制電弧攜帶能量表現(xiàn)優(yōu)，<0.4mj/kw，
   ● 弧光響應極快，電弧響應時間<100ns；

   ● 波形和頻率靈活可調(diào)，雙極性、單極性、直流、脈沖多種模式合一電弧主動抑制技術；
   ● 控制指令快速響應；

   ● 豐富的通訊接口:Ether CAT,DeviceNET,Profibuse,Profinet,Modbuse等



產(chǎn)品參數(shù)

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